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电子化学品性能要求及生产技术
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- 发布时间:2021-11-29
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【概要描述】目前世界及我国的电子化学品产品通常执行SEMI国际标准,其关键技术指标包括单项金属离子,单项阴离子,颗粒数等,另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。电子化学品SEMI标准进入21世纪,国际SEMI标准化组织又根据电子化学品在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不间工艺技术的等级。表2-1列出了IC制造的不同线
电子化学品性能要求及生产技术
【概要描述】目前世界及我国的电子化学品产品通常执行SEMI国际标准,其关键技术指标包括单项金属离子,单项阴离子,颗粒数等,另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。电子化学品SEMI标准进入21世纪,国际SEMI标准化组织又根据电子化学品在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不间工艺技术的等级。表2-1列出了IC制造的不同线
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- 发布时间:2021-11-29 15:37
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目前世界及我国的电子化学品产品通常执行SEMI国际标准,其关键技术指标包括单项金属离子,单项阴离子,颗粒数等,另外根据不同产品特点会相应增加其它一些技术指标。
电子化学品SEMI标准
进入21世纪,国际SEMI标准化组织又根据电子化学品在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不间工艺技术的等级。表2-1列出了IC制造的不同线宽对湿电子化学品SEMI国际标准等级的要求。
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